人造胚晶

(重定向自晶棒

所謂人造胚晶[1],係指透過合成手段製出之單晶晶錠英语ingot[2]之人造胚晶乃當今多數積體電路所用之基礎原料。

單晶矽英语Monocrystalline silicon之人造胚晶

今之半導體產業有數種方法可以製造人造胚晶, 如布里奇曼法[3]柴式拉晶法等,產物往往以圓柱體之晶棒型式居多。[4]

若以柴式拉晶法拉造人造胚晶,須先備妥一晶種,始得進行後續造大晶體、晶錠之程序。晶種沾入純矽熔融液,然後再緩緩將之拉起。凝固自熔融液的新晶體將有與晶種相同之秩序,進而形成圓柱型的大顆單晶,是為人造胚晶。

圓柱型之人造胚晶通常會被鑽石鋸刀切成晶圓片。晶圓片又經拋光有了平整的表面,才能成為適合製造半導體裝置的基板。同樣的製程也可以用來製造藍寶石基板。藍寶石基板是製造藍色、白色發光二極體的材料,也可用在特殊用途的光窗英语Optical window[5]或手錶的保護殼。

參考文獻编辑

  1. ^ 存档副本. [2017-02-17]. (原始内容存档于2017-02-26). 
  2. ^ fundementals of silicon carbide technology. [2017-02-25]. (原始内容存档于2019-09-29). 
  3. ^ crystal growth handbook. [February 25, 2017]. (原始内容存档于2019-09-30). 
  4. ^ continuous czochralski process development. [2017-02-25]. (原始内容存档于2019-10-13). 
  5. ^ 存档副本. [2017-02-17]. (原始内容存档于2019-07-18).