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卤化硅
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三
三氟氯硅烷
三氯硅烷
二
二氟二氯硅烷
二氯硅烷
四
四氟化硅
四氯化硅
四溴化硅
四碘化硅
氟
氟三氯硅烷
氟氯溴碘化硅