離子注入是一種將特定離子在電場裡加速,然後嵌入到另一固體材料之中的技術手段。使用這個技術可以改變固體材料的物理化學性質,現在已經廣泛應用於半導體器件製造和某些材料科學研究。離子注入可以導致核轉換,或改變某些固體材料的晶體結構

「離子注入」的各地常用名稱
中國大陸離子注入
臺灣離子佈植[1]、離子植入[2]
港澳離子注入[3]
一離子注入系統

參見

編輯

參考文獻

編輯
  1. ^ 離子佈植. 樂詞網. 國家教育研究院. [2023-12-25].  (繁體中文)
  2. ^ 離子植入法. 樂詞網. 國家教育研究院. [2023-12-25].  (繁體中文)
  3. ^ 離子注入與電鍍實驗室. 香港科技大學納米系統製造實驗所. [2023-11-19]. (原始內容存檔於2020-02-19). 

外部連結

編輯