納米晶硅(nc-Si)非晶硅(a-Si)一樣是的一種同素異形體。和非晶硅的區別在於,納米晶硅具有小的無定形態的硅晶粒。相比之下,多晶硅完全由晶界相隔的硅晶體顆粒構成。納米晶硅有時也被稱為微晶硅(µc-Si)。差別只在於晶粒的顆粒大小。大部分顆粒大小在微米量級的材料實際上是精細顆粒多晶硅,所以納米晶硅是一個更好的詞。

左邊是一般的硅,右邊則是納米態的硅

由於納米晶硅能夠更好地吸收紅波和紅外波,它可以用製作硅太陽能電池