光罩盒

光罩盒（Mask Package），意为储存光罩的盒子，主要用于避免光罩遭受外部微尘粒子及化学污染。

分类

• 光罩运输盒：由光罩制作厂运输至晶圆厂间运输用；
• 光罩厂区内部运输盒；
• 光罩机台传送盒：将光罩送入机台的盒子，针对特定的设备使用不同的传送盒。其中包括非SMIF系统和SMIF系统。

参照

• 光罩