柳惇（639年—693年），字依仁，河东郡解县（今山西省运城市临猗县）人，出自河东柳氏西眷，唐朝、武周官员。
柳惇以门调选为辇郎。例授邵州司户，转任隰州司户，凉州都督府士胄事。后来转任资州资阳县令。长寿二年（693年）七月初二，在长安武功里的宅第去世，时年五十五岁。长安二年（702年）五月廿九，迁葬河南龙门乡清河原。
《大周故河东柳府君（惇）墓志铭》
