柳惇(639年—693年),字依仁,河东郡解县(今山西省运城市临猗县)人,出自河东柳氏西眷,唐朝、武周官员。
柳惇以门调选为辇郎。例授邵州司户,转任隰州司户,凉州都督府士胄事。后来转任资州资阳县令。长寿二年(693年)七月初二,在长安武功里的宅第去世,时年五十五岁。长安二年(702年)五月廿九,迁葬河南龙门乡清河原。
《大周故河东柳府君(惇)墓志铭》