氟氧化钇

化合物

氟氧化钇是一种无机化合物,化学式为YOF。[1]在一般条件下,该化合物是无色固体。[2]

氟氧化钇
识别
CAS号
SMILES
 
  • [Y+3].[O-2].[F-]
性质
化学式 FOY
摩尔质量 123.9 g·mol−1
外观 白色粉末
密度 5.18 g/cm3
结构
晶体结构 四方晶系
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。

合成

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  • 在真空中将氟化钇的水合晶体加热到900 °C,使其分解:
 
 

物理性质

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氟氧化钇会形成四方晶系的晶体。它的晶格参数是a = 0.3910 nm,c = 0.5431 nm。根据六方晶系,晶格参数是a = 0.38727 nm,c = 1.897 nm,Z = 6。

应用

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稳定氟氧化钇用于等离子体装备的内壁。[3][4]

参考文献

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  1. ^ Mann, A. W.; Bevan, D. J. M. The crystal structure of stoichiometric yttrium oxyfluoride, YOF. Acta Crystallographica. 1970, B26 (12): 2129–2131 [16 June 2017]. doi:10.1107/S0567740870005496. (原始内容存档于2023-05-05). 
  2. ^ Рипан, Р.; Четяну, И. Неорганическая химия. 1992 (俄语). 
  3. ^ Shiba, Yoshinobu. Stable yttrium oxyfluoride used in plasma process chamber. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. January 2017, 35 (2): 021405. Bibcode:2017JVSTA..35b1405S. doi:10.1116/1.4975143. 
  4. ^ Tsunoura, Toru; Yoshida, Katsumi; Yano2, Toyohiko; Kishi, Yukio. Fabrication, characterization, and fluorine-plasma exposure behavior of dense yttrium oxyfluoride ceramics. Japanese Journal of Applied Physics. 2 May 2017, 56 (6S2): 06HC02. Bibcode:2017JaJAP..56fHC02T. doi:10.7567/JJAP.56.06HC02.