氟氧化釔

化合物

氟氧化釔是一種無機化合物,化學式為YOF。[1]在一般條件下,該化合物是無色固體。[2]

氟氧化釔
識別
CAS號
SMILES
 
  • [Y+3].[O-2].[F-]
性質
化學式 FOY
摩爾質量 123.9 g·mol−1
外觀 白色粉末
密度 5.18 g/cm3
結構
晶體結構 四方晶系
若非註明,所有數據均出自標準狀態(25 ℃,100 kPa)下。

合成

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  • 在真空中將氟化釔的水合晶體加熱到900 °C,使其分解:
 
 

物理性質

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氟氧化釔會形成四方晶系的晶體。它的晶格參數是a = 0.3910 nm,c = 0.5431 nm。根據六方晶系,晶格參數是a = 0.38727 nm,c = 1.897 nm,Z = 6。

應用

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穩定氟氧化釔用於電漿體裝備的內壁。[3][4]

參考文獻

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  1. ^ Mann, A. W.; Bevan, D. J. M. The crystal structure of stoichiometric yttrium oxyfluoride, YOF. Acta Crystallographica. 1970, B26 (12): 2129–2131 [16 June 2017]. doi:10.1107/S0567740870005496. (原始內容存檔於2023-05-05). 
  2. ^ Рипан, Р.; Четяну, И. Неорганическая химия. 1992 (俄語). 
  3. ^ Shiba, Yoshinobu. Stable yttrium oxyfluoride used in plasma process chamber. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. January 2017, 35 (2): 021405. Bibcode:2017JVSTA..35b1405S. doi:10.1116/1.4975143. 
  4. ^ Tsunoura, Toru; Yoshida, Katsumi; Yano2, Toyohiko; Kishi, Yukio. Fabrication, characterization, and fluorine-plasma exposure behavior of dense yttrium oxyfluoride ceramics. Japanese Journal of Applied Physics. 2 May 2017, 56 (6S2): 06HC02. Bibcode:2017JaJAP..56fHC02T. doi:10.7567/JJAP.56.06HC02.