射頻電源是可以產生固定頻率正弦波電壓,頻率在射頻範圍(約3KHz~300GHz)內、具有一定功率電源[1]

射頻電源已廣泛應用於半導體工藝設備;LED太陽能光伏產業;科學實驗中的電漿體發生;射頻感應加熱;醫療美容;常壓電漿體消毒清洗等。[2]

參考文獻

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  1. ^ 中科院射频电源组. [2013-01-26]. (原始內容存檔於2013-08-13). 
  2. ^ 中科院射频电源组研发部. [2013-01-26]. (原始內容存檔於2018-08-26).