SONOS,是硅-氧化物-氮化物-氧化物-硅(英語:Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon)的英語首字母縮寫,是一種和閃存聯繫較為緊密的非揮發性存儲器。它與主流的閃存主要區別在於,它使用了氮化硅(Si3N4),而不是多晶硅,來充當存儲材料。它的一個分支是SHINOS(硅-高電介質-氮化物-氧化物-硅)。SONOS允許比多晶硅閃存更低的編程電壓和更高的編程-擦除循環次數,是一個較為活躍的研究、開發熱點。提供基於SONOS產品的公司包括GlobalFoundries、Cypress Semiconductor、Macronix、東芝聯華電子華虹微電子

一個SONOS存儲器單元的圖示

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