使用者:Sfs031317/SandBox3
Sfs031317/SandBox3 | |||
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IUPAC名 Hexafluoroethane 六氟乙烷 | |||
系統名 六氟乙烷 | |||
別名 | 六氟化碳 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷 全氟乙烷 鹵碳 116 PFC-116 CFC-116 R-116 Arcton 116 Halon 2600 UN 2193 | ||
識別 | |||
CAS號 | 76-16-4 ? | ||
PubChem | 6431 | ||
SMILES |
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InChI |
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EINECS | 200-939-8 | ||
ChEBI | 32905 | ||
RTECS | KI4110000 | ||
性質 | |||
化學式 | C2F6 | ||
摩爾質量 | 138.01 g·mol⁻¹ | ||
外觀 | 無色無嗅氣體 | ||
密度 | 5.734 kg.m-3,24 °C | ||
熔點 | -100.6 °C | ||
沸點 | -78.2 °C | ||
溶解性(水) | 0.0015% | ||
log P | 2 | ||
蒸氣壓 | 2.967 MPa,20.1 °C 3.0701 MPa,21 °C | ||
危險性 | |||
NFPA 704 | |||
閃點 | 不易燃 | ||
若非註明,所有數據均出自標準狀態(25 ℃,100 kPa)下。 |
物理性質
編輯六氟乙烷在固態時擁有兩種同素異形體,它的不同相變溫度已於科學文獻中列明。其相最新變溫度定於103 K (-170 °C)。在低於103 K的情況下,它的結構稍微變得不規則,過了轉移點後,便形成面心立方晶體結構。[1]
六氟乙烷密度表:
性質,溫度 | 密度 (kg.m-3) |
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液態,-78.2 °C | 1608 |
氣態,-78.2 °C | 8.86 |
氣態,15 °C | 5.84 |
氣態,20.1 °C | 5.716 |
氣態,24 °C | 5.734 |
蒸氣密度為4.823(空氣密度是1),21 °C,比重為4.773(空氣比重是1)及比容量為0.1748 m³/kg。
用途
編輯六氟乙烷可用於一種具多功能的蝕刻技術,常見於半導體之生產。它可用於金屬矽化物及金屬氧化物並相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外,它亦用於蝕刻矽上的二氧化硅。
環境影響
編輯六氟乙烷是一種造成溫室效應的氣體。它非常穩定,可以長時間停留在大氣層中,是一種非常強大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為10,000年,全球增溫(全球暖化)係數是9,200(二氧化碳的係數是1)。它在大氣層的濃度是 3 pptv(在1750年時是 0 pptv[2])。然而,六氟乙烷在紅外線光譜下有強大的吸收勢。它的輻射驅動力是0.001 W/m²。它的臭氧破壞潛勢是0。
六氟乙烷已列入《IPCC國家溫室氣體清單》。
安全
編輯六氟乙烷的相對密度比較高,可以塡滿地面空間範圍,在不通風的地方會導致窒息。
其他健康影響與四氟甲烷相似。
參考資料及注釋
編輯- Bozin S E; et al. Growth of ionization currents in carbon tetrafluoride and hexafluoroethane. J. Phys. D: Appl. Phys. 1968, 1: 327–334. doi:10.1088/0022-3727/1/3/309.